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無塵車間生產對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區或者在遠紫外線處理(DUV)區甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
根據美國施行的規范，可將無塵車間分成六級。各自是一級、十級、百級、千級、萬級、十萬級：一級≥百級≥萬級≥千級≥十萬級≥上百1萬級。越排前，級別越高，一級是級別1大的。普遍的是百級到十萬級。一級的無塵車間主要用于制造集成電路芯片的電子光學工業，對集成電路芯片的精準規定為亞μm。十級的無塵車間主要用于網絡帶寬低于2μm的半導體材料工業。百級是常見的。因而是關鍵的無塵車間，大家經常不正確地將百級凈化室稱之為無菌車間，以表明“無菌檢測”的或“潔凈”的自然環境規定，手術室無菌室，百級潔凈室可用于藥業工業的無菌檢測制造加工工藝等，這一凈化室很多應用于，植如身體物件的制造，干細胞無菌室，手術，包含移植術，集成器的制造，這些對細菌1性1感1染比較敏感的患者的防護醫1治，例如像骨1髓移植患者手術后的防護醫1治。千級的無塵車間主要用于高品質電子光學商品的生產制造，湖州市無菌室，還用于檢測，裝配線飛機場蛇螺儀，裝配線高品質微型軸承等。千級無塵車間用于液壓機械或標準氣壓機器設備的裝配線，一些狀況下也用于食品工業工業，除此之外，千級無塵車間在醫工業中也很常見。十萬級無塵車間用于許多的工業單位，例如電子光學商品的制造，用于較小的電子器件制造大中型的電子技術，液壓機或標準氣壓系統軟件的制造，食品工業的生產制造，醫1藥工業也經常應用這一級無塵車間。
無塵車間在設計時一定要符合生產工藝過程的要求。不管是上工序還是下工序，兩者間的運輸距離要短，盡量避免迂回和往返運輸。車間的地面要用堅固、防滑、易清潔、不滲水、耐腐蝕的材料鋪制；墻面則要鋪有2米以上的墻裙，墻面用耐腐蝕、易清洗消毒、堅固、不滲水的材料鋪制及用淺色，防水、無毒、不易脫落、防霉、可清洗的材料覆涂。
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